荷蘭ASML擬對華「開綠燈」 國產晶片或現曙光

全球光刻機巨頭荷蘭阿斯麥（ASML）全球副總裁、中國區總裁沈波表示，該公司對向中國出口集成電路光刻機持開放態度，對全球客戶均一視同仁，在法律法規框架下，都將全力支持。這對中國對抗美國芯片圍堵或有突破。

作為全球晶片光刻技術的領導者，荷蘭光刻機生產企業阿斯麥以「光刻未來，攜手同行」為主題，亮相正在上海舉行的第3屆進博會高端裝備展區，呈現整體光刻解決方案。不過，內地媒體發現，阿斯麥並沒有帶來了其最先進，可製造10納米以下晶片的EUV（極紫外光）光刻機，僅展示其較次一級的DUV（深紫外線）光刻機。

沈波向記者承認，EUV光刻機目前還在等荷蘭政府的出口許可證。該公司須在遵守法律法規的前提下進行光刻機出口。據透露，受美國對華出口技術限制，阿斯麥需獲得美方的同意，才能向中國出售EUV光刻機。

但沈波強調，該公司對向中國出口光刻機保持很開放態度，「我們參加進博會是為了表達我們的立場，對開放合作、攜手創新的支持。」自30年前進入中國市場以來，該公司在中國共為客戶提供了700多台裝機。2020年第2及第3季度，公司發往中國大陸地區的光刻機台數超過了全球總台數的20%。