【中大研发】中大研R2R印刷系统 降电子器件生产成本

先进电子设备价格高昂，若改进电子器件生产方法，可助降低成本。中文大学工程学院团队，开发了一个以柔性材料为基础的精密卷对卷（R2R）多层印刷系统，其多层对准精度比同类系统准确百倍，亦能把压印误差控制在二百纳米内。负责研究的学者表示，新系统提高柔性电子器件的生产效率，继而降低电视、手机荧幕及其他电子设备的成本，未来亦广泛应用于不同范畴。

R2R是一种由来已久的技术，可用于报纸印刷，亦能以超薄玻璃、聚酯薄膜等柔性材料制造电子器件。率领团队研究的机械与自动化工程学系教授陈世祈指，R2R技术虽然广泛应用于轻触式荧幕等电子设备的生产，但存在不少局限，其对准精度只有数十微米，无法造出复杂的多层电子器件，技术上的限制亦令现存的R2R系统难以有效地应用先进的软光刻技术。

压印误差仅二百纳米

有见及此，陈世祈团队自一二年开始研究如何提升R2R印刷系统的性能，最终开发出一个新系统，运用工业摄像机，实时监测印刷材料上的对准标记，可以根据所得的资料，调节印刷辊轴的即时位置，让印刷过程中的多层对准精度小于一微米，达到亚微米级别，而且可以大面积连续压印，「新系统比同类系统准确一百倍。」

新系统也应用了软光刻技术中的微接触印刷，并将压印误差控制在二百纳米内，分辨率达一百纳米。陈世祈指，与光刻或电子束刻蚀的技术相比，新系统毋须在无尘环境下操作，且具可扩展性及可重复性，有助大幅降低柔性电子器件的生产成本及提升产量，「继而可让电视、电话荧幕及其他电子设备的成本下降。」

未有巿场应用时间表

陈世祈补充，新系统亦加强R2R的性能，一些需要纳米级印刷精度，及亚微米级对准精度的设备，例如柔性印刷电路板，在未来都能够以R2R制造，新系统也有机会应用在半导体产业，形容是次研发成果「对制造业影响深远」。他续称，会与感兴趣的厂商洽商，但目前未有实际推出市场应用的时间表；团队未来会继续研究，进一步提升系统的精准度。