城大研新型真空紫外光超构透镜

半导体是电子产品晶片的原材料之一，制作时须使用的真空紫外光成本昂贵，亦须大型机器生产。城市大学电机工程学系的团队研发新型真空紫外光超构透镜，直径仅四十五微米，新透镜使用方便之馀，亦较现时生产方法效能更高。新型超构透镜将有助开发低损耗的真空紫外光部件，使真空紫外光的应用更普及。

真空紫外光用途广泛，包括半导体生产、光化学及材料科学等领域，但部分波长的真空紫外光易被空气中的氧气吸收，制作真空紫外光的过程须在真空腔室等特别空间进行，需要以大型系统制作，成本高昂。设计及制造系统运用透镜时，亦因材料易碎而面临不少限制。
助开发低损耗部件

城大电机工程学系讲座教授蔡定平，与研究助理教授陈沐谷带领的团队，获大学教育资助委员会及研究资助局的「卓越学科领域计画」拨款，偕美国及台湾多所大学研发新型真空紫外光超构透镜，由三角形氧化锌纳米天阵列组合而成，直径仅四十五微米，将能大幅精简真空紫外光系统的设计，同时推动开发低损耗真空紫外光部件。

透镜使用的纳米结构，有助转化真空紫外光的波长，更可将转化后的紫外光，聚焦至直径小于二百万分之一米的圆点上，而聚焦光点的功率密度，亦比原有方法增强二十一倍。蔡定平形容，新技术较原有透镜更轻巧，效能亦更高，为业界提供更便利的方法生产和聚焦非性真空紫外光。他相信研究成果可通过半导体电子制造过程大量生产，并能推动真空紫外光光学技术和市场的革新，研究结果已于学术期刊《科学进展》发表。