港大以新技术制作钻石膜 能应用于电子、光子等范畴
2024-12-19 16:16
钻石又名金刚石,除了有观赏价值,也是工程材料。由香港大学工程学院电机及电子工程学系副教授褚智勤与机械工程系教授林原,与南方科技大学及北京大学的研究团队,成功开发突破性的方法,可大量制造超薄、超柔韧的钻石膜。这些薄膜与现有的半导体制造技术兼容,原则上能制成各种电子、光子、机械、声学和量子器件。
金刚石除了是珍贵的宝石,也是一种多功能的工程材料,在室温下的热传导性能良好,同时兼具极高的载流子迁移率。团队提出的边缘暴露剥离法能够快速生产大尺寸的独立金刚石薄膜。对比昂贵、耗时且受尺寸限制的传统技术,新技术可在10秒内生产出一个两英寸的金刚石晶圆,提供了前所未有的效率和规模化。
这种技术能制作出表面超平坦的金刚石膜,这对高精度微纳制造尤其重要。同时,平坦的金刚石膜的巨大柔性能为下一代可穿戴电子和光子设备提供了新的可能性。研究团队预期可广泛应用于电子、光子、机械、热力、声学,以至量子技术等领域。
褚智勤表示,希望能促进这些高质量金刚石膜在不同领域的应用,并将这项尖端技术商业化,从而推出优质的金刚石薄膜产品,为业界树立新标准。
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