连续参展进博会 光刻机巨头ASML:中国半导体市场太重要

2022-11-08 15:35

ASML公司进博会展台。
ASML公司进博会展台。

美国打压中国的高科技发展,最重要的就是限制中国的芯片产业发展,其方式就是限制全球的高端光刻机输入中国。不过,光刻机巨头荷兰的ASML公司今年仍参加了上海正在举行的「进博会」,这也是该公司第四次参加中国进博会。ASML公司负责人接受中国媒体采访时称,ASML抱著开放合作的态度多次参与进博会,「中国市场在推动全球半导体产业发展上具有十分重要的作用。」

内地「观察者网」记者采访了ASML参展上海进博会的展台。ASML公司现场负责人以不公开姓名方式接受采访,显然ASML公司对此相当敏感。

据称,由于光刻机的体型过大,ASML虽多次参展,但并未带过真实的光刻机到进博会现场。今年该公司通过元宇宙视角展现其业务,包括配备先进工艺控制能力的光刻机台、计算光刻、光学及电子束量测,观众可以「亲身」进入无尘室,近距离接触光刻机。

ASML透露,目前该公司在中国的本地团队能够解决超过95%的客户问题。在华DUV(深紫外光刻机)安装、升级、迁移服务已实现完全本土化。同时该公司正在组建虚拟技术专家团队,旨在以创新方式(ARES、HoloLens等)远程解决各种复杂问题。

ASML是全球光刻机龙头。
ASML是全球光刻机龙头。
ASML的高端光刻机。
ASML的高端光刻机。
ASML参加进博会的展牌。
ASML参加进博会的展牌。
中国进年致力发展光刻机技术。
中国进年致力发展光刻机技术。
ASML向中国用户介绍其光刻机。
ASML向中国用户介绍其光刻机。
ASML高端光刻机中部分重要技术来自美国。
ASML高端光刻机中部分重要技术来自美国。

在本届进博会上展示光刻技术的不止ASML一家,包括尼康、佳能等日本厂商也展示了光刻机、FPD曝光机和蒸镀机等光学半导体产业设备的应用。

不过,高端光刻机市场仍是ASML一家独大。第三方数据显示,2021年ASML共出货高端光刻机(EUV、ArFi、ArF)145台,占据95.4%的全球市场份额,EUV市场占有率达到100%。但在美国的干扰下,高端光刻机大多都因涉及美国技术,不能输入中国。
 

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